진공챔버에 순차적으로 GAS 공급하는 과정에 대한 Fluid Mixing 기능을 활용한 농도 및 유동 현상 고찰

ALD : Atomic Layer Deposition 원자층증착

Fluid Mixing(Multi Fluid)

Vacuum Pump

진공챔버 Model

1D/3D CFD FMI Co-Simulation